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MPM一700光学零件虎途娱乐官方网站平台的研制与改进

CMP(Chemical Mechanical Planarization)的基本原理是将晶片在研磨液的存在下相对于一个虎途娱乐官方网站垫旋转,并施加一定的压力,借助机械磨削及化学腐蚀作用来完成虎途娱乐官方网站。其中,虎途娱乐官方网站平台在电机的带动下以角速度ω转动,虎途娱乐官方网站垫粘在平台上。被虎途娱乐官方网站片通过真空吸附或蜡粘方式附着在承载器上,承载器在虎途娱乐官方网站头的带动下,以相同角速度ω转动,方向与平台相同。同时,机械压力通过虎途娱乐官方网站头,承载器和虎途娱乐官方网站盘将被虎途娱乐官方网站片压在浸满虎途娱乐官方网站液的虎途娱乐官方网站布上,在虎途娱乐官方网站盘与虎途娱乐官方网站头转动的作用下,被输送到虎途娱乐官方网站布上的虎途娱乐官方网站液均匀地分布到虎途娱乐官方网站布上,在被虎途娱乐官方网站片和虎途娱乐官方网站盘之间形成一层液体薄膜,这层膜起质量传输和传递压力的作用,虎途娱乐官方网站液中的化学成分与被虎途娱乐官方网站片发生化学反应,将不溶物质转化为易溶物质(化学反应过程),然后通过机械摩擦将这些易溶物从虎途娱乐官方网站片表面去掉,被流动的液体带走(机械过程),这两个过程的结合就可以实现化学机械虎途娱乐官方网站,用这种方法可以真正使被虎途娱乐官方网站片表面实现全局平面化。

在虎途娱乐官方网站机研发过程中,虎途娱乐官方网站盘传动方式、盘面材料及承载器装夹方式是整机中最为关键的几点内容。根据化学机械虎途娱乐官方网站的传统方法,设备运行过程中,既要实现虎途娱乐官方网站头旋转、升降,以及在虎途娱乐官方网站过程中加压的技术要求,又要保证虎途娱乐官方网站盘减少热变形及弹性变形,从而确保虎途娱乐官方网站效果。故此,本文对以上几点做了相应分析与改进,对整机设备工艺能力的提升具有重要意义。

整机结构及性能特点概述

MPM一700光学零件超精密虎途娱乐官方网站平台,是一种应用CMP工艺,来提高晶片表面质量的一种精密设备;主要应用于激光陀螺仪,旋光片(或类似硬脆材料)等光学零件的表面纳米级超精密虎途娱乐官方网站。机构如图1所示。

图1 产品机构示意图

主要技术指标:
虎途娱乐官方网站盘直径:680 mm
虎途娱乐官方网站头直径:180 min
虎途娱乐官方网站头数量:2个
晶片尺寸:50、75、100、125 mm
加压方式:气缸精确加压
压力范围:0~1 000 N
压力控制精度:±10 N
虎途娱乐官方网站盘转速:5~60 r/min
虎途娱乐官方网站头转速:5~60 r/min
冲洗方式:自动冲洗功能
虎途娱乐官方网站头翻转功能:可自动翻转30。
虎途娱乐官方网站头驱动:单侧独立驱动
装片方式:蜡粘接
虎途娱乐官方网站盘端跳:0.030 mm
虎途娱乐官方网站盘平面度:0.015 min
升降气缸行程:100 mm±5 mm
加压气缸行程:50 mm±5 mm
翻转角度:30°±5°

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